第三章关于压电扫描器缺点叙述错误的是（）。
晶体膨胀期间不可预测的力矢量
柔性铰链的设计对环境噪声的放大
电压相对位置、位移无滞后
答案:电压相对位置、位移无滞后
采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。
答案:对
激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。
答案:错
空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。
答案:对
飞点扫描法是利用一个线光源照明待检测表面，并利用单个探测器和多面体进行光信号接收。
答案:错
压电扫描器利用压电效应产生摆动的扫描器，具有无摩擦、无磨损、无间隙和高谐振频率的特点。
答案:错
激光三角法使用的探测器类型包括（）
线阵相机
APD
光电二极管
PSD
答案:面阵相机;线阵相机;PSD
下面哪几项属于直射式激光三角法的特点？（）
系统尺寸较小
测量范围小
在被测物上的光斑位置不变
信号类型为散射光，强度较低
答案:系统尺寸较小;在被测物上的光斑位置不变;信号类型为散射光，强度较低
激光视力矫正手术涉及到哪几种激光器？
准分子激光器
飞秒激光器
阿秒激光器
答案:准分子激光器;飞秒激光器
表面特征检测的扫描技术主要分为（）
反射光检测法
扫描频谱分析法
散射光检测法
答案:反射光检测法;扫描频谱分析法;散射光检测法
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