微纳加工技术

微纳加工技术期末答案2023秋

1.为了防止外界污染侵入洁净室,应保持洁净室静压低于非洁净区域。( )A:错B:对答案:错2.溶脱剥离法是最普通的图形转移技术之一,尤其适用于金属薄膜的制作。( )A:对B:错答案:对3.如果衬底材料是晶体,在某原子排列稀疏的方向上,离子可能“