微纳加工技术章节测试课后答案2024春

绪论单元测试

1.微纳加工是以平面集成加工为代表的非传统的加工方法，加工形成的部件或结构本身的尺寸在（ ）量级。
A:纳米 B:微米 C:微米或纳米
答案:C
2.光刻工艺的基本要素主要包括（ ）。
A:对准系统 B:光源 C:光刻胶
答案:ABC
3.刻蚀法图形转移技术的关键刻蚀参数：（ ）。
A:掩膜的抗刻蚀比和刻蚀的方向性 B:刻蚀的方向性 C:掩膜的抗刻蚀比
答案:A
4.间接加工技术能够绕过现有设备加工能力极限，意指直接光刻技术，其图形结构的分辨率决定于某种光刻方法的分辨率。（ ）
A:对 B:错
答案:B
5.间接加工技术就是光刻加图形转移技术。（ ）
A:对 B:错
答案:B