微纳加工技术章节测试课后答案2024春

第三章测试

1.离子源按工作原理可分为（ ）。
A:液态金属离子源 B:气体放电型离子源 C:场致电离型离子源 D:电子轰击型离子源
答案:ABCD
2.聚焦离子束系统的聚焦系统与电子束系统大致相同。（ ）
A:错 B:对 3.聚焦离子束系统存在空间电荷效应，可利用较小的发射电流来比避免该问题。（ ）
A:对 B:错 4.LMIS稳定发射的关键是液态金属与钨丝的良好浸润。（ ）
A:对 B:错 5.垂直入射的离子可以获得最大的离子溅射产额。（ ）
A:错 B:对