光电检测技术与系统第三章测试_智慧树知到答案2021年

第三章 光电扫描检测技术与系统：光学扫描极速与系统3.1激光扫描计量技术与系统:激光扫描计量技术与系统、光学系统扫描匹配与球面镜扫描、多面体扫描系统、摆动扫描与衍射扫描系统
3.2位相调制扫描技术与系统:空间调制光束扫描、外差扫描
3.3光扫描定位技术与系统:光电显微定位系统、激光扫描定位、激光扫描定位系统
3.4表面特征扫描检测技术与系统:表面特征扫描检测：强度、频谱
3.5激光扫描加工技术与系统:激光退火与再制造、激光3D物化改性系统

[单选题]关于压电扫描器缺点叙述错误的是（）。
晶体膨胀期间不可预测的力矢量
柔性铰链的设计对环境噪声的放大
居里温度引起的温度限制，低温下压电效应的降低
电压相对位置、位移无滞后
答案：电压相对位置、位移无滞后
[判断题]采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。
对
错[判断题]激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。
错
对[判断题]空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。
对
错[判断题]飞点扫描法是利用一个线光源照明待检测表面，并利用单个探测器和多面体进行光信号接收。
错
对[判断题]压电扫描器利用压电效应产生摆动的扫描器，具有无摩擦、无磨损、无间隙和高谐振频率的特点。
对
错[多选题]激光三角法使用的探测器类型包括（）
线阵相机
光电二极管
APD
PSD
面阵相机[多选题]下面哪几项属于直射式激光三角法的特点？（）
在被测物上的光斑位置不变
系统尺寸较小
测量范围小
信号类型为散射光，强度较低
光斑尺寸较大[多选题]激光视力矫正手术涉及到哪几种激光器？
阿秒激光器
准分子激光器
皮秒激光器
飞秒激光器[多选题]表面特征检测的扫描技术主要分为（）
反射光检测法
扫描频谱分析法
散射光检测法
透射光检测法