第三章测试1.关于压电扫描器缺点叙述错误的是（）。
A:电压相对位置、位移无滞后 B:晶体膨胀期间不可预测的力矢量 C:居里温度引起的温度限制，低温下压电效应的降低 D:柔性铰链的设计对环境噪声的放大
答案:A
2.采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。
A:错 B:对 3.激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。
A:对 B:错 4.空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。
A:错 B:对 5.飞点扫描法是利用一个线光源照明待检测表面，并利用单个探测器和多面体进行光信号接收。
A:对 B:错 6.压电扫描器利用压电效应产生摆动的扫描器，具有无摩擦、无磨损、无间隙和高谐振频率的特点。
A:错 B:对 7.激光三角法使用的探测器类型包括（）
A:面阵相机 B:线阵相机 C:光电二极管 D:APD E:PSD 8.下面哪几项属于直射式激光三角法的特点？（）
A:在被测物上的光斑位置不变 B:光斑尺寸较大 C:测量范围小 D:信号类型为散射光，强度较低 E:系统尺寸较小 9.激光视力矫正手术涉及到哪几种激光器？
A:阿秒激光器 B:皮秒激光器 C:飞秒激光器 D:准分子激光器 10.表面特征检测的扫描技术主要分为（）
A:透射光检测法 B:反射光检测法 C:散射光检测法 D:扫描频谱分析法
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