第七章单元测试
通常TEM观测的分辨率要高于SEM。
SEM观测的主要原理是搜集入射电子激发的二次电子进行逐点成像的。
表面不导电的样品无法用SEM进行观测。
TEM可观测厚度1微米以上的样品。
AFM的探针针尖与样品表面直接接触，所以测量时会损伤样品。
AFM可观测样品内部形貌特征。
以下哪种检测方式不涉及X射线？
EDX通常是加装在SEM中配合使用的。
以下常用来检测样品表面晶体结构的方法是（）？
业界常用SIMS作为半导体掺杂浓度分布的检测方式。
A:错 B:对
答案:对
A:对 B:错
A:对 B:错
A:对 B:错
A:错 B:对
A:错 B:对
A:XPS B:EDX C:XRD D:SIMS
A:错 B:对
A:SIMS B:XRD C:AES D:EDX
A:错 B:对
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