第二章测试
1.如下选项那个不是离子注入工艺过程中,减少沟道效应的措施( )。
A:表面预非晶化 B:增加注入能量 C:表面用掩膜 D:增加注入剂量
答案:B
2.下列哪个杂质允许在硅中存在的?( )
A:Cu B:Na C:O D:C
答案:A
3.硅的四种掺杂方式有以下几种?( )
A:中子嬗变掺杂 B:扩散掺杂法 C:原位掺杂 D:离子注入
答案:ABCD
4.金刚石结构的立方晶胞空间利用率为34%。( )
A:对 B:错
答案:B
5.硅的解理面为(110)面。 ( )
A:对 B:错
答案:B

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