第七章测试1.当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（ ）。
A:掺杂剂量 B:最低掺杂剂量 C:损伤剂量 D:临界剂量
答案:D
2.掺杂后退火时间一般在（ ）。
A:60~90分钟 B:100~120分钟 C:10~20分钟 D:30~60分钟 3.注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关?（ ）
A:温度 B:剂量 C:质量 D:能量 4.掺杂后，退火的目的是（ ）。
A:加大损伤 B:修复损伤 C:提高掺杂均匀性 D:实现电激活 5.低剂量离子注入不会产生损伤。（ ）
A:对 B:错 6.如果注入离子的半径较小，它沿着敞开的晶体方向注入时，沟道效应更加显著。（ ）
A:错 B:对
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