第十二章测试1.最早使用的金属化材料是（ ）。
A:铁
B:金
C:铝
D:铜
答案:C
2.进行沟槽填充常用的金属材料是（ ）。
A:铜
B:铝
C:钨
D:金
3.金属化中可选用的金属材料有（ ）。
A:银
B:金
C:铝
D:铜
4.互连工艺中AL的制备可选用（ ）。
A:电镀
B:CVD
C:MBE
D:PVD
5.互连工艺中铝和硅可以互溶。（ ）
A:对 B:错 6.在较高的电流密度作用下，互连引线中的金属原子将会沿着电子运动方向进行迁移，这种现象就是____。
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