第七章测试1.当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（ ）。
A:最低掺杂剂量
B:临界剂量
C:损伤剂量
D:掺杂剂量
答案:B
2.掺杂后退火时间一般在（ ）。
A:30~60分钟
B:10~20分钟
C:60~90分钟
D:100~120分钟
3.注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关?（ ）
A:能量
B:温度
C:剂量
D:质量
4.掺杂后，退火的目的是（ ）。
A:实现电激活
B:修复损伤
C:提高掺杂均匀性
D:加大损伤
5.低剂量离子注入不会产生损伤。（ ）
A:对 B:错 6.如果注入离子的半径较小，它沿着敞开的晶体方向注入时，沟道效应更加显著。（ ）
A:对 B:错 7.离化后的原子在强电场的加速作用下，注射进入靶材料的表层，以改变这种材料表层的物理或化学性质的工艺过程叫____。
8.离子注入设备的离子源有等离子体型离子源和____离子源。
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