微纳加工技术答案2023

第五章测试

1.热压纳米压印技术工艺流程为（ ）。
A:反应离子刻蚀去残胶
B:热固化
C:脱模
D:压印

答案:ACD
2.便于脱模，最易实施的方法是（ ）。
A:光刻胶中添加其他物质，减小光刻胶与模板的粘附作用
B:模板内涂镀高抗粘连的材料
C:预先在基片底部涂一层粘结性好的聚合物
3.纳米压印包括阳模压印和阴模压印，阴模压印相对容易。（ ）
A:错 B:对 4.正坡度印模结构最适于脱模，零坡度视印模侧壁的表面粗糙度而定。 （ ）
A:对 B:错 5.

紫外光固化纳米压印一般采用透明的印模。 （ ）

A:错 B:对