微纳加工技术答案2023

绪论单元测试

1.微纳加工是以平面集成加工为代表的非传统的加工方法，加工形成的部件或结构本身的尺寸在（ ）量级。
A:纳米
B:微米
C:微米或纳米

答案:C
2.光刻工艺的基本要素主要包括（ ）。
A:光刻胶
B:对准系统
C:光源

答案:ABC
3.刻蚀法图形转移技术的关键刻蚀参数：（ ）。
A:掩膜的抗刻蚀比
B:掩膜的抗刻蚀比和刻蚀的方向性
C:刻蚀的方向性

答案:B
4.间接加工技术能够绕过现有设备加工能力极限，意指直接光刻技术，其图形结构的分辨率决定于某种光刻方法的分辨率。（ ）
A:对 B:错
答案:B
5.间接加工技术就是光刻加图形转移技术。（ ）
A:对 B:错
答案:B