微纳加工技术答案2023

第七章测试

1.

湿法腐蚀二氧化硅的特点是（ ）。

A:各向同性
B:各向异性

答案:A
2.反应离子刻蚀是离子轰击辅助的化学反应过程，其主要过程可以概括为（ ）。
A:物理溅射
B:离子反应
C:产生自由基
D:自由基反应
3.传统机械加工中的喷粉工艺一般喷的是（ ）粉末。
A:氧化铁
B:氧化锆
C:氧化铝
D:氮化铝
4.与等离子体刻蚀不同，离子溅射刻蚀方法中等离子体产生区和样品刻蚀区是分开的。（ ）
A:错 B:对 5.飞秒激光加工是热加工。（ ）
A:错 B:对