第三章单元测试
- 金刚石结构的立方晶胞空间利用率为74%。（ ）
- 硅烷法制备高纯硅的步骤不包括哪一项？（ ）
- 目前制备SOI 材料的主流技术有几种？（ ）
- 物理提纯法制备多晶硅过程中，硅参加了化学反应。 （ ）
- 无坩埚制备单晶硅的生长方法叫____法。
- 有坩埚制备单晶硅的生长方法有____法。
A:错 B:对
答案:对
A:硅烷热分解
B:制备硅烷
C:固体吸附法
D:精馏
A:键合再减薄技术
B:注氧隔离法
C:智能剥离法
A:对 B:错
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