第四章单元测试
  1. 如下哪个选项不是半导体器件制备过程中的主要污染物?( )

  2. A:细菌
    B:化学物质
    C:融解的氧气
    D:金属离子

    答案:融解的氧气

  3. 下面哪个选项不是集成电路工艺用化学气体质量的指标?( )

  4. A:浓度
    B:微粒
    C:纯度
    D:金属离
  5. 美国联邦标准209E按一立方英尺中存在的颗粒大小和密度定义空气净化标准。( )

  6. A:对 B:错
  7. 美国用离子交换法制取95%纯水。( )

  8. A:对 B:错
  9. 硅中污染清除的底线____。

  10. 三种制高纯水方法:____、____、____。

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